无忧基地网友对微传感器研究的现状与性能发展方向的评论

摘要：压阻式压力传感器由于受p??n结耐温限制，只能用于120℃以下的工作温度，然而在许多领域迫切需要能够在高低温下正常工作的压力传感器,例如测量锅炉、管道、高温容器内的压力，井下压力和各种发动机腔体内的压力。目前对高温压力传感器的研究主要包括SOS、SOI、SiC、Poly??Si合金薄膜溅射压力传感器、高温光纤压力传感器、高温电容式压力传感器等。其中6H??SiC高温压力传感器可望在600℃下应用。开发谐振式压力传感器。 微机械谐振式压力传感器除了具有普通微传感器的优点外，还具有准数字信号输出，抗干扰能力强，分辨力和测量精度高的优点。硅微谐振式传感器的激励/检测方式有电磁激励/电磁拾... 察看微传感器研究的现状与性能发展方向全文